蒸銦專用設備，滿足高品質銦柱沉積的需要，具有成熟的蒸銦的工藝，具有優(yōu)化的Lift-off工藝設計，滿足高厚度、回流、倒裝冷焊的工藝前道要求。

用于超導量子實驗室制備超導結（量子比特和約瑟夫森結）和量子器件，可以制備大面積、高穩(wěn)定性和可重復性超導結。

使用離子源，將靶材（金屬或電介質）沉積或濺射到基片上，以形成金屬或電介質膜。因為離子束是等能的（離子具有相等的能量），且高度準直，所以與其他PVD（物理氣相沉積）技術相比，其能夠精確地控制厚度，并沉積非常致密的高質量薄膜。

用于在超高真空環(huán)境下制備高性能的Nb、Ti、Al、NbTi等低溫超導薄膜和Fe、Co、Ni及合金等磁性薄膜。

超高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機