購買約瑟夫森結(jié)鍍膜機的要點是什么？

  1、超高真空系統(tǒng)，本底真空越高越好。

  2、多腔室（Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation）整機系統(tǒng)的超高真空互聯(lián)兼容性。

  3、多種薄膜生長工藝的系統(tǒng)設(shè)計兼容性和沉積薄膜的質(zhì)量控制（均勻性、表/界面缺陷）。

  4、晶圓轉(zhuǎn)移過程的系統(tǒng)設(shè)計和穩(wěn)定性。

  5、整機設(shè)備的自動化操作系統(tǒng)設(shè)計。

  以上就是小編今日為大家介紹的購買約瑟夫森結(jié)鍍膜機的要點，感謝大家耐心的閱讀！