v  功能特點(diǎn)

ü  矩形SS316L電拋光，內(nèi)腔屏蔽

ü  本底真空5E-7Torr或5E-10Torr

ü  UHV真空泵和真空計(jì)

ü  6 x 3寸行星樣品操作臺(tái)（公、自轉(zhuǎn)）

ü  石英紅外線燈，樣品加熱溫度300°C

ü  多個(gè)坩堝電子束蒸發(fā)源

ü  膜厚監(jiān)測(cè)儀

ü  FBBeam系統(tǒng)控制軟件