電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)知識(shí)點(diǎn)介紹

儀器結(jié)構(gòu)：

它主要由主機(jī)、控制系統(tǒng)、真空路等組成。

1.主機(jī)：包括電壓源、電子槍、坩堝等；

2.控制系統(tǒng)：工藝控制、溫控等系統(tǒng)；

3.真空氣路系統(tǒng)：將初空泵和低溫真空泵結(jié)合使用，使設(shè)備腔達(dá)到高真空狀態(tài)，滿足真空蒸發(fā)工藝的要求。

工作原理：

   電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)過程的關(guān)鍵設(shè)備。抽真空蒸發(fā)室到真空狀態(tài)(一般是10-6tor)的級(jí)真空泵，電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是利用高溫?zé)艚z產(chǎn)生的中高能電子束，采用電子束掃描器控制高能量電子束轟擊蒸發(fā)源坩堝(水冷)材料，快速熔解材料達(dá)到蒸發(fā)溫度，形成物質(zhì)的蒸汽云。將坩堝底部的蒸氣云在真空中凝結(jié)成一層薄膜。

儀器特點(diǎn)

1.目標(biāo)幾乎涵蓋所有無機(jī)材料。

2.蒸發(fā)率高。

3.均勻性好。

4.高熔點(diǎn)材料可鍍。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)應(yīng)用場(chǎng)景

  鈦、鋁、鉑、鎳、銅、鎢等金屬薄膜材料。其主要應(yīng)用領(lǐng)域有半導(dǎo)體集成電路芯片制造、無線通訊芯片制造、微機(jī)電系統(tǒng)芯片制造、光通信芯片制造、半導(dǎo)體激光芯片制造、先進(jìn)的納米設(shè)備制造等。

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